六氯乙硅烷，英文名為1,1,1,2,2,2-Hexachlorodisilane，常溫常壓下為無(wú)色至淺黃色液體，具有極其強(qiáng)的吸濕性和較強(qiáng)的潮解性，它可與常見的非質(zhì)子性有機(jī)溶劑例如乙醚，二氯甲烷等進(jìn)行混溶。六氯乙硅烷是一種氯代硅烷類化合物，也是一種常見的半導(dǎo)體原料，在電子產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)領(lǐng)域中有著較好的應(yīng)用。

圖1 六氯乙硅烷的性狀圖

理化性質(zhì)

六氯乙硅烷是一種性能穩(wěn)定、揮發(fā) 性低的濕度敏感型液體，在半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用廣泛,附加值高,是一種氯硅烷，該物質(zhì)可用作生產(chǎn)乙硅烷的前體，它是一種用于生產(chǎn)硅膜和氮化硅基膜的脫氧劑。六氯乙硅烷可用于通過(guò)化學(xué)氣相沉積（CVD）制備二氧化硅氣凝膠，其有望用作封裝劑和絕熱體。該物質(zhì)也可用于通過(guò)CVD合成1,1,1,2,2,2-六氨基乙硅烷，其可形成微電子應(yīng)用的硅基薄膜。六氯乙硅烷也可用作還原劑。它可以通過(guò)化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)與氨結(jié)合形成氮化硅。

制備方法

有研究報(bào)道了一種高純六氯乙硅烷的制備方法，它是一種制備高純度六氯乙硅烷的工藝，該方法采用山梨醇代替螯和樹脂進(jìn)行金屬雜質(zhì)的吸附，在提純過(guò)程中加入氮?dú)獍樗统蔀槎栊詺怏w保護(hù)精餾，通入氮?dú)獾淖饔弥饕墙档驼麴s溫度，加強(qiáng)塔釜內(nèi)液體的攪拌防止釜內(nèi)液體局部過(guò)熱從而避免六氯乙硅烷受熱變質(zhì)。該方法的精餾效率高且工藝成本低。[1]

化學(xué)應(yīng)用

六氯乙硅烷在多種高級(jí)薄膜淀積（半導(dǎo)體存儲(chǔ)和邏輯芯片制造技術(shù)）工藝中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，即在低溫工況下可替代硅烷或二氯甲硅烷應(yīng)用于高品質(zhì)氧化硅和氮化硅薄膜的積淀工藝中。六氯乙硅烷按純度可以分為：高純度級(jí)別和普通純度級(jí)別。高純度級(jí)別六氯乙硅烷的純度>99%，作為化學(xué)氣相淀積（CVD）、原子層沉積（ALD）的前體用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，亦可作為前體用于太陽(yáng)能領(lǐng)域，在光纖、航空航天領(lǐng)域也有應(yīng)用。普通純度級(jí)六氯乙硅烷的純度在 95%-98%，主要用作工業(yè)生產(chǎn)或者提純。

參考文獻(xiàn)

[1] 黃娣,張小玲,龔瑞,等.一種制備高純度六氯乙硅烷的工藝.CN202010438643.X.