二氯硅烷
| 中文名稱 | 二氯硅烷 |
|---|---|
| 中文同義詞 | 三氯矽烷;二氯硅烷;電子級高純二氯二氨硅;二氯二氫硅/二氯硅烷 |
| 英文名稱 | Dichlorosilane |
| 英文同義詞 | dichloro-silan;dichlorsilane;siliconchloridehydride;DICHLOROSILANE;DICHLOROSILANE 99;DICHLOROSILANE 227 G (IN LECTURE;DICHLOROSILANE, 99.99+%;DICHLOROSILANE 97+% |
| CAS號 | 4109-96-0 |
| 分子式 | Cl2H2Si |
| 分子量 | 101.01 |
| EINECS號 | 223-888-3 |
| 相關(guān)類別 | Cv電子工業(yè)用無機(jī)化工產(chǎn)品;無機(jī)化工產(chǎn)品;無機(jī)鹽;化學(xué)品 ( Chemical );電子特氣;硅烷試劑;Synthetic Reagents;Chemical Synthesis;Compressed and Liquefied GasesMicro/Nanoelectronics;Electronic Chemicals;Gases |
| Mol文件 | 4109-96-0.mol |
| 結(jié)構(gòu)式 |  |
二氯硅烷 性質(zhì)
| 熔點(diǎn) | −122 °C(lit.) |
|---|---|
| 沸點(diǎn) | 8.3 °C(lit.) |
| 密度 | 1,22 g/cm3 |
| 蒸氣密度 | 3.5 (vs air) |
| 蒸氣壓 | 1254 mm Hg ( 20 °C) |
| 閃點(diǎn) | -37°C |
| 溶解度 | 與H2O反應(yīng) |
| 形態(tài) | 無色氣體 |
| 比重 | 0.76 |
| 顏色 | 無色氣體；易燃 |
| 爆炸極限值(explosive limit) | 99% |
| 水溶解性 | decomposes |
| 水解敏感性 | 9: reacts extremely rapidly with atmospheric moisture - may be pyrophoric - glove box or sealed system required |
| 穩(wěn)定性 | 穩(wěn)定的。極易燃；注意非常寬的爆炸極限。與水、醇類、強(qiáng)氧化劑、堿類會(huì)急劇地發(fā)生反應(yīng)。 |
| CAS 數(shù)據(jù)庫 | 4109-96-0(CAS DataBase Reference) |
| EPA化學(xué)物質(zhì)信息 | Dichlorosilane (4109-96-0) |
吸入人體會(huì)水解生成鹽酸、刺激呼吸系統(tǒng)，引起咳嗽，肺部水腫。吸人二氯二氫硅氣體時(shí)間較長會(huì)引起窒息而死。濺在皮膚上可引起壞死，潰瘍長期不愈。
生產(chǎn)人員要穿著密閉型工作服，戴防毒口罩、密閉眼鏡、乳膠手套等勞保用品，防止呼吸器官、眼睛和皮膚的直接接觸。生產(chǎn)設(shè)備要密閉，車間要通風(fēng)良好。下班后要洗淋浴。
Si+2HCl→SiH2C12
生產(chǎn)人員要穿著密閉型工作服，戴防毒口罩、密閉眼鏡、乳膠手套等勞保用品，防止呼吸器官、眼睛和皮膚的直接接觸。生產(chǎn)設(shè)備要密閉，車間要通風(fēng)良好。下班后要洗淋浴。
化學(xué)性質(zhì)
無色。易燃。有毒腐蝕性氣體，具有刺激性臭味。熔點(diǎn)-122℃。沸點(diǎn)8.2℃。氣體相對密度(空氣=1)4.599；液體相對密度d4}-122>。1.42。臨界溫度176.3℃。蒸氣壓力(20℃，絕對壓)0.15 Mpa。比容積(20℃，1.0133×105Pa)239 mI/g。在空氣中爆炸極限1.3％～98％。與水發(fā)生劇烈反應(yīng)。在濕空氣中水解，生成鹽酸霧。有強(qiáng)腐蝕性。用途
用于半導(dǎo)體制造中，尤其是外延法工藝作為硅源。用途
用于電子工業(yè)中多晶硅外延生長以及化學(xué)氣相淀積二氧化硅和氮化硅生產(chǎn)方法
將硅粉和氯化氫按適當(dāng)比例進(jìn)行反應(yīng)，生成二氯二氫硅，經(jīng)蒸餾分離三氯氫硅，把得到的二氯二氫硅進(jìn)行精制，制得電子級高純二氯二氫硅成品。其Si+2HCl→SiH2C12
安全信息
| 危險(xiǎn)品標(biāo)志 | F+,T |
|---|---|
| 危險(xiǎn)類別碼 | 12-14-23-34 |
| 安全說明 | 26-36/37/39-45 |
| 危險(xiǎn)品運(yùn)輸編號 | UN 2189 2.3 |
| WGK Germany | 1 |
| RTECS號 | VV3050000 |
| F | 4.5 |
| TSCA | Yes |
| DOT Classification | 2.3 Hazard Zone B (Gas poisonous by inhalation) |
| 危險(xiǎn)等級 | 2.3 |
| 毒性 | mouse,LC50,inhalation,144ppm/4H (144ppm),Archives of Toxicology. Vol. 70, Pg. 218, 1996. |
| 提供商 | 語言 |
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