三氟化氮（NF3）是鹵化氮中最穩(wěn)定的無機(jī)化合物，可在銅的催化下由氨氣與氟氣制成。它可以用作氟化氫激光器的氧化劑，半導(dǎo)體、液晶和薄膜太陽能電池生產(chǎn)過程中的蝕刻劑。曾被試做火箭燃料。但由于三氟化氮屬于溫室氣體，能加劇溫室效應(yīng)，因此有人認(rèn)為應(yīng)該限制這種化合物的使用。三氟化氮在半導(dǎo)體及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演“清潔劑”的角色，不過這類清潔劑是氣態(tài)，而非液態(tài)。

應(yīng)用

三氟化氮廣泛用于半導(dǎo)體技術(shù)，高能激光器和化學(xué)蒸汽淀積。與元素氟不同，氟化氮在壓力高達(dá)75kgf/cm2時(shí)，易轉(zhuǎn)變成凝聚態(tài)，并且堆積密度高達(dá)600g/L(氟化學(xué)雜志，1991，54，No.1～3，P37)。

制備方法

CN1384049A公開一種新的制備三氟化氮的方法，已發(fā)現(xiàn)三氟化氮在半導(dǎo)體、高能激光和化學(xué)蒸汽沉積等技術(shù)方面得到廣泛應(yīng)用。在－20℃～0℃溫度和氟對(duì)起始的化合物的摩爾比不超過3的條件下，通過元素氟氟化在無水氟化氫中的尿素或其與解產(chǎn)物，制備三氟化氮。無水氟化氫中起始化合物的濃度優(yōu)選為20～50%(重量)。上述方法具有爆炸安全性，并且產(chǎn)品中三氟化氮具有含量而混合物的濃度最小，產(chǎn)率達(dá)到90%。

危害

加熱時(shí)，分解。生成含有氟的有毒煙霧。該物質(zhì)是一種強(qiáng)氧化劑。與可燃物質(zhì)和還原物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。與氨，一氧化碳，乙硼烷，氫，硫化氫，甲烷和四氟肼 急劇地發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生爆炸的危險(xiǎn)。浸蝕金屬。遇到電火花，該物質(zhì)分解。

長期或反復(fù)接觸三氟化氮可能對(duì)肝和腎有影響，反復(fù)或長期吸入，可能引起氟中毒。