999-97-3
中文名稱
六甲基二硅氮烷
英文名稱
Hexamethyldisilazane
CAS
999-97-3
EINECS 編號(hào)
213-668-5
分子式
C6H19NSi2
MDL 編號(hào)
MFCD00008259
分子量
161.39
MOL 文件
999-97-3.mol
更新日期
2025/01/15 08:41:10
999-97-3 結(jié)構(gòu)式
基本信息
中文別名
六甲基二硅氮烷六甲基二硅烷胺
六甲基二硅亞胺
1,1,1-三甲基-N-(三甲基甲硅烷基)硅烷胺
六甲基二硅氨烷
六甲基二硅胺
六甲基二硅胺烷
藥用硅氮烷
六甲基二硅基胺
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷電子級(jí)
六甲基二矽氯烷
六甲二矽烷
六甲基二硅烷胺(HMDS)
六甲基二硅雜氮烷, 98+%
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷, ELECTRONIC GRAD
六甲基二硅雜氮烷, ELECTRONIC GRADE, 99+%
英文別名
1,1,1,3,3,3-HEXAMETHYLDISILAZANE1,1,1-Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine
BIS(TRIMETHYLSILYL)AMINE
HEXAMETHYLDISILAZANE
hexamethyl disilizane
HEXAMETHYLDISILYLAMINE
HMDS
LABOTEST-BB LT01408762
SILAZANE HMN
((CH3)3Si)2NH
1,1,1,3,3,3-hexamethyl-disilazan
1,1,1-trimethyl-n-(trimethylsilyl)-silanamin
Disilazane, 1,1,1,3,3,3-hexamethyl-
hexamethyldisilazane(hmds)
hexamethylsilazane
sz6079
Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine
tsl8802
1,1,1,3,3,3-Hexamithyl disilazane
(dimethyl-trimethylsilylamino-silyl)methane
所屬類別
有機(jī)原料：有機(jī)硅化合物物理化學(xué)性質(zhì)
外觀性質(zhì)無(wú)色、透明、易流動(dòng)液體。
外觀性狀無(wú)色透明易流動(dòng)液體。沸點(diǎn)125℃，相對(duì)密度0.76（20/4℃）。溶于有機(jī)溶劑，與空氣接觸會(huì)迅速被水解生成三甲硅烷醇和六甲基二硅醚。閃點(diǎn)-1℃。
溶解性溶于多數(shù)有機(jī)溶劑。
熔點(diǎn)-78 °C
沸點(diǎn)125 °C(lit.)
密度0.774 g/mL at 25 °C(lit.)
蒸氣密度4.6 (vs air)
蒸氣壓20 hPa (20 °C)
折射率n20/D 1.407(lit.)
閃點(diǎn)57.2 °F
儲(chǔ)存條件2-8°C
溶解度與丙酮、苯、乙醚、庚烷和全氯乙烯混溶。
酸度系數(shù)(pKa)30(at 25℃)
形態(tài)液體
比重0.774
顏色無(wú)色
氣味 (Odor)氨氣味
酸堿指示劑變色ph值范圍8.5
爆炸極限值(explosive limit)0.8-25.9%(V)
水溶解性REACTS
敏感性濕氣敏感
水解敏感性7: reacts slowly with moisture/water
Merck14,4689
BRN635752
InChIKeyFFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N
LogP0.23-1.19 at 20-25℃
CAS 數(shù)據(jù)庫(kù)999-97-3(CAS DataBase Reference)
NIST化學(xué)物質(zhì)信息Silanamine, 1,1,1-trimethyl-N-(trimethylsilyl)-(999-97-3)
存儲(chǔ)注意事項(xiàng)氮?dú)獗Ｗo(hù);濕度敏感
EPA化學(xué)物質(zhì)信息Hexamethyldisilazane (999-97-3)
安全數(shù)據(jù)
警示詞危險(xiǎn)
危險(xiǎn)性描述H225-H302+H332-H311-H412
危險(xiǎn)品標(biāo)志F,C
危險(xiǎn)類別碼R11-R20/21/22-R34
安全說(shuō)明S16-S26-S36/37/39-S45
危險(xiǎn)品運(yùn)輸編號(hào)UN 3286 3/PG 2
WGK Germany2
RTECS號(hào)JM9230000
F21
自燃溫度325 °C
Hazard NoteFlammable
TSCAYes
危險(xiǎn)等級(jí)3
包裝類別II
海關(guān)編碼29319090
毒害物質(zhì)數(shù)據(jù)999-97-3(Hazardous Substances Data)
毒性LDLO i.p. in mice: 650 mg/kg (Petrarch Systems Inc. Product Information Sheets)
應(yīng)用領(lǐng)域
用途一
特種有機(jī)合成。阿米卡星、盤尼西林、頭孢霉素、氟尿嘧啶及各種青霉素衍生物等合成過(guò)程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導(dǎo)體工業(yè)中光致刻蝕劑的粘結(jié)助劑。用途二
為阿米卡星藥用中間體，是羥基及氨基保護(hù)劑用途三
用于生產(chǎn)橡膠、藥物。該品是消減氣相色譜載體表面吸附活的減尾劑。用途四
堿性硅烷化保護(hù)劑，無(wú)機(jī)填料處理劑制備方法
方法一
將109g（1.0mol）三甲基氯硅烷溶于500ml無(wú)水乙醚，通入氨氣，立即出現(xiàn)白色沉淀。加熱至回流，慢慢通氨維持6h，使氯化銨沉降、過(guò)濾，取乙醚溶液先蒸出乙醚，再蒸出六甲基二硅氨烷，得52.5g，收率65%。999-97-3(安全特性,毒性,儲(chǔ)運(yùn))
儲(chǔ)運(yùn)特性
庫(kù)房通風(fēng)低溫干燥; 與氧化劑、酸類分開(kāi)存放毒性分級(jí)
中毒急性毒性
口服- 大鼠 LD50: 850 毫克/ 公斤; 口服- 小鼠 LDL0: 850 毫克/ 公斤可燃性危險(xiǎn)特性
遇明火、高溫、氧化劑易燃; 遇水分解有毒硅化物氣體; 燃燒產(chǎn)生有毒氮氧化物煙霧類別
易燃液體滅火劑
干粉、干砂、二氧化碳、泡沫、1211滅火劑常見(jiàn)問(wèn)題列表
有機(jī)硅化合物
六甲基二硅氮烷，英文縮寫HMDS，一種重要的有機(jī)硅化合物，最常用來(lái)增加光刻膠在品圓表面附著力的底漆層，易燃且燃點(diǎn)為6.7℃，當(dāng)在空氣中的濃度為0.8%-16%時(shí)具有爆炸性，HMDS會(huì)強(qiáng)烈地與水、酒精和礦物質(zhì)酸反應(yīng)釋放出氨水NH3，生成六甲基二硅醚。在催化劑存在下，與醇或酚反應(yīng)，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無(wú)水氯化氫反應(yīng)，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。光刻膠應(yīng)用
六甲基二硅氮烷 (HMDS) 底涂通常在應(yīng)用光刻膠之前使用。1970 年，IBM 的 RH Collins 和 FT Devers 在美國(guó)專利 3,549,368 中首次描述了 HMDS 作為光刻膠粘合促進(jìn)劑的用途。該工藝已從基于將晶圓浸入 HMDS 溶液中的做法逐步發(fā)展為基于蒸汽的過(guò)程。盡管可以通過(guò)旋涂將 HMDS 涂敷在晶圓上，但通常不推薦這樣做，因?yàn)?HMDS 厚層的蒸汽蒸發(fā)會(huì)在后期造成問(wèn)題。最典型的 HMDS 應(yīng)用在真空室中，該真空室將基板的加熱與暴露于 HMDS 蒸氣相結(jié)合。
HMDS提高了光刻膠的附著力
由于從環(huán)境濕度中吸收了一層水，硅晶片的表面通常是親水的。為了光刻膠的適當(dāng)粘附，需要使表面更疏水以更好地匹配光刻膠的化學(xué)性質(zhì)。該過(guò)程的第一步稱為脫水烘烤。顧名思義，該步驟的目的是去除晶圓表面的水分。此步驟通常在真空中進(jìn)行，需要大約 140 至 160 °C 的溫度。如果不去除水層，則在后續(xù)顯影或化學(xué)蝕刻過(guò)程中存在光刻膠分層的風(fēng)險(xiǎn)。然而，在這一步之后，晶圓表面仍然是親水的，因?yàn)槊撍贡砻婊謴?fù)到自然狀態(tài)。在原生狀態(tài)下，硅晶片的頂部有一層薄薄的天然氧化物，當(dāng)暴露在大氣濕度下時(shí)會(huì)形成。在化學(xué)上，這被視為硅表面的 OH 基團(tuán)。為了使光刻膠正確粘附，表面需要更疏水（防水）。
脫水烘烤從晶圓表面去除多余的材料（即吸附的水），而 HMDS 處理將添加單層材料，使其對(duì)光刻膠更具吸引力。脫水烘烤后，表面暴露于蒸汽 HMDS，通常在設(shè)置為 130 至 160 °C 的熱底漆烘箱中。晶圓表面的 OH 基團(tuán)會(huì)與 HMDS 的甲基發(fā)生反應(yīng)，從而使表面更加疏水。表面會(huì)更好地與光刻膠的化學(xué)成分相匹配，但也不易吸水。
危險(xiǎn)性
六甲基二硅氮烷是主危3類副危6.1類/8類的危險(xiǎn)貨物，具有以下危險(xiǎn)性質(zhì)：易燃液體和蒸氣，吞咽有害、皮膚接觸會(huì)中毒，吸入會(huì)中毒。
其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱極易燃燒爆炸，爆炸極限范圍0.8%-16.3%。
與氧化劑接觸猛烈反應(yīng)。遇水和甲醇發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而分解。
知名試劑公司產(chǎn)品信息
Acros Organics
六甲基二硅氮烷1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane, 98%(999-97-3)
Sigma Aldrich
999-97-3(sigmaaldrich)六甲基二硅氮烷價(jià)格(試劑級(jí))
| 報(bào)價(jià)日期 | 產(chǎn)品編號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | CAS號(hào) | 包裝 | 價(jià)格 |
| 2024/11/08 | L16519 | 六甲基二硅雜氮烷,電子級(jí), 99+% Hexamethyldisilazane, Electronic grade, 99+% | 999-97-3 | 25ml | 419元 |
| 2024/11/08 | L16519 | 六甲基二硅雜氮烷,電子級(jí), 99+% Hexamethyldisilazane, Electronic grade, 99+% | 999-97-3 | 100ml | 990元 |
| 2024/11/08 | L16519 | 六甲基二硅雜氮烷,電子級(jí), 99+% Hexamethyldisilazane, Electronic grade, 99+% | 999-97-3 | 500ml | 3310元 |