乙醇鉭可以用于通過化學(xué)氣相沉積(CVD)來沉積制備氧化鉭或者金屬鉭涂層；乙醇鉭水解然后加熱也可以生成氧化鉭粉末，可以生產(chǎn)高純級(jí)氧化鉭。美國使用乙醇鉭為前驅(qū)體，生產(chǎn)出了高比面積的氧化鉭薄膜。這種薄膜表現(xiàn)出良好的光學(xué)活性，在太陽能電池、光催化劑方面都有潛在的應(yīng)用。乙醇鉭可以通過等離子技術(shù)，生成超細(xì)的碳化鉭粉體。乙醇鉭在表面涂層的主要應(yīng)用是制備氮化鉭或者氧化鉭。因?yàn)榈g及氧化鉭具有較高的介電性和穩(wěn)定性，其主要應(yīng)用在電子元件的保護(hù)層及介電層。乙醇鉭可以在電路板中生成具有高熔點(diǎn)和微晶粒的結(jié)構(gòu)的氮化鉭。這種氮化層結(jié)構(gòu)在電路板中，可以使銅與硅或二氧化硅接觸后的擴(kuò)散得到抑制。另外，也有研究指出，氮化鉭能夠忍受比其它阻障金屬更高的溫度而不會(huì)退化，因此乙醇鉭為前驅(qū)體的鉭和氮化鉭是較優(yōu)越的銅制程阻障層。

氯化物化合法生產(chǎn)乙醇鉭是一種比較常用的方法，工藝比較成熟。氯化物對(duì)設(shè)備及工藝都有著比較高的要求。主要的原因是因?yàn)樵牧衔迓然g及產(chǎn)品乙醇鉭都容易和空氣中的水汽反應(yīng)。五氯化鉭與乙醇反應(yīng)時(shí)會(huì)放出大量的熱量，原材料中的稀釋劑及乙醇都是易燃易爆的液體，在中試或者生產(chǎn)中必須控制反應(yīng)速度。五氯化鉭與乙醇反應(yīng)會(huì)產(chǎn)生高濃度的氯化氫，容易腐蝕設(shè)備。原材料中的稀釋劑采用芳香烴，毒性較高。目前，正在相關(guān)單位正在研究以其它的低毒有機(jī)溶劑代替芳香烴的氯化合成過程。氯化法化合法主要特點(diǎn)是，合成速度快，設(shè)備投入小。由于原材料氯化鉭與乙醇反應(yīng)迅速并生成大量的熱必須采用惰性的稀釋劑控制反應(yīng)速度。惰性稀釋劑主要采用芳香烴，給操作人員健康和安全帶來了一定的風(fēng)險(xiǎn)。含有芳香烴的廢料難以處理。這種方法必須有充足五氯化鉭原料和相關(guān)安環(huán)設(shè)備及措施保證。

鉭的醇鹽主要是甲醇鉭、乙醇鉭、丙醇鉭、丁醇鉭及異丁醇鉭。其中以乙醇鉭的應(yīng)用最為廣泛。鉭的醇鹽可以溶解在大部分的有機(jī)物中，所以它是氧化鉭的理想的前驅(qū)體。鉭和鉭的大部分化合物都比較穩(wěn)定。金屬鉭與乙醇在通常條件下不發(fā)生反應(yīng)。目前乙醇鉭的合成方法主要有兩種，一種是氯化物化合法；另一種是“犧牲”陽極法。