因產(chǎn)品配置不同, 價(jià)格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro
上海伯東德國(guó) Pfeiffer 殘余氣體分析儀(四級(jí)桿質(zhì)譜儀)集高靈敏度, 高穩(wěn)定性和智能操作于一體, 配置新一代的操作軟件 PV MassSpec, 可定量定性評(píng)估真空系統(tǒng)中的殘余氣體成分. 最低可檢測(cè)分壓 3 X10-15 hPa.
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 特性:
模塊化設(shè)計(jì)保證兼容性, JSON 編程界面和多種接口易于系統(tǒng)集成
分析儀器和電子單元可靈活互換
雙燈絲延長(zhǎng)工作時(shí)間
最低可檢測(cè)分壓 3 X10-15 hPa
可直接連接真空計(jì), 方便測(cè)量壓力
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | QMG 250 F1 | QMG 250 F2 | QMG 250 F3 | QMG 250 M1 | QMG 250 M2 | QMG 250 M3 |
檢測(cè)器 | 法拉第 Faraday (F) | 電子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M) |
質(zhì)量數(shù) amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 |
四極桿直徑／長(zhǎng)度 | 6 / 125 mm |
最小檢測(cè)極限 F hPa *1,2 | 4X10-13 | 5X10-13 | 7X10-13 | - | - | - |
最小檢測(cè)極限 M hPa *1,2 | - | - | - | 3X10-15 | 4X10-15 | 5X10-15 |
對(duì)Ar的靈敏度 F A/hPa*3 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 |
工作壓力 F hPa | 5X10-4 |
工作壓力 M hPa | - | - | - | 5X10-5 | 5X10-5 | 5X10-5 |
對(duì)臨近質(zhì)量數(shù)的影響*1 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm |
操作溫度 分析 | 200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
操作溫度 電子 | 5 – 50 °C |
烘烤溫度 分析 | 300 °C |
連接法蘭 | DN 40 CF-F |
保壓時(shí)間 | 1 ms – 16 s/amu |
重量 | 2.5 kg | 3.2 kg |
* 1 開放式離子源,
* 2 停留時(shí)間 4秒
*3 與 C-SEM相比, 具有較高的靈敏度
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 標(biāo)準(zhǔn)通訊接口:
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 可擴(kuò)展的通訊接口:
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關(guān)鍵字： 殘余氣體分析儀;氣體分析儀;質(zhì)譜分析儀;四極桿質(zhì)譜;
伯東公司成立于1953 年，全球范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作，集團(tuán)年?duì)I業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國(guó)內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營(yíng)業(yè)據(jù)點(diǎn)。
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國(guó)客戶提供世界一流的真空產(chǎn)品、推動(dòng)中國(guó)真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會(huì)責(zé)任為經(jīng)營(yíng)理念，已累計(jì)為超過(guò)10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。
上海伯東代理品牌包含：德國(guó)Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國(guó) KRI 離子源、美國(guó)Polycold 制冷機(jī)，美國(guó)HVA 真空閥門，美國(guó) inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測(cè)試機(jī)，離子蝕刻機(jī)，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。
上海伯東作為國(guó)際知名真空品牌指定授權(quán)代理商，全權(quán)負(fù)責(zé)在中國(guó)地區(qū)的銷售和維修服務(wù)，100% 使用原廠進(jìn)口零部件以及國(guó)外受訓(xùn)維修工程師；擁有完全的拆解，維修，校正能力并提供24小時(shí)在線服務(wù)。