三氟化氮化學(xué)式NF3。無(wú)色、無(wú)臭、性質(zhì)穩(wěn)定的液化氣體，不溶于水和堿，化學(xué)上較惰性，但赤熱時(shí)與金屬、非金屬作用，與油和脂肪發(fā)生反應(yīng)，與氫氣激烈作用。高純?nèi)獛缀鯖]有氣味,它是一種熱力學(xué)穩(wěn)定的氧化劑,大約在350℃左右可分解成為二氟化氮和氟氣,故其反應(yīng)性質(zhì)類似于氟。三氟化氮用作氧化劑時(shí),在發(fā)生反應(yīng)的同時(shí),可作為二氟化氮游離基的供給源。比較常見的包裝有兩種20KG/44L鋼瓶和8~14噸裝的ISO管束槽。毒性大，與氟化物和氫氟酸類似。急性毒性：大鼠吸入LC50176ppm(lh)。美國(guó)規(guī)定作業(yè)環(huán)境空氣中最高容許濃度為10ppm(30mg/m3)。
三氟化氮（NF3）主要用途是用作氟化氫－氟化氣高能化學(xué)激光器的氟源，在h2-O2與F2之間反應(yīng)能的有效部分（約25%）可以以激光輻射釋放出，所HF-OF激光器是化學(xué)激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對(duì)硅和氮Chemicalbook化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對(duì)表面無(wú)污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時(shí)也是非常良好的清洗劑。
IC方面：由于作為半導(dǎo)體工業(yè)中氣體清洗劑的全氟烴(PFC)對(duì)環(huán)境有害,近年來(lái)有逐漸被三氟化氮(NF3)取代之勢(shì)。使用NF3作為化學(xué)蒸氣沉積(CVD)箱清洗劑,與全氟烴相比,可減少污染物排放量約9Chemicalbook0%,且可顯著提高清洗速度,從而可提高清洗設(shè)備能力約30%。LCD方面：NF3還可用作蝕刻劑,也用于液晶顯示器(LCD)的加工。太陽(yáng)能電池：NF3作為蝕刻和清洗氣體也在太陽(yáng)能電池制造行業(yè)廣泛應(yīng)用。
目前三氟化氮工業(yè)化生產(chǎn)主要有兩條路線,一是合成法:將氟化氫銨在鎳制反應(yīng)器中加熱,氟氣、氮?dú)夂桶蓖ㄟ^(guò)分布器進(jìn)入反應(yīng)器直接氟化反應(yīng)。二Chemicalbook是電解法:在一定溫度下,電解熔融的氟化氫銨,電解過(guò)程中陽(yáng)極產(chǎn)生三氟化氮,陰極產(chǎn)生氫氣。我國(guó)三氟化氮生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)方法為上述兩種方法。
關(guān)鍵字： 三氟化氮;高純?nèi)?特種氣體供應(yīng)商;電子特種氣體供應(yīng)商;NF3氣體;
粵佳氣體集團(tuán)是廣東地區(qū)綜合性氣體供應(yīng)商之一，總部位于廣州市增城新塘鎮(zhèn)，公司成立于1993年，依托于西洲乙炔廠發(fā)展至今，并在2012年成立粵佳氣體集團(tuán)，集團(tuán)包括廣州市粵佳氣體有限公司、清遠(yuǎn)市聯(lián)升空氣液化有限公司、英德市西洲氣體有限公司、廣州市譜源氣體有限公司、廣州耀升氣體有限公司、中山格魯博氣體有限公司、深圳市昌達(dá)利氣體有限公司、增城市和康貿(mào)易有限公司、大特粵佳（廣東）氣體有限公司。總資產(chǎn)超過(guò)5億元，工廠總占地面積132,000平方米，職工600多人。
現(xiàn)有空氣液化分離裝置3套，高純液氧純化裝置1套，乙炔生產(chǎn)裝置2套，氫氣生產(chǎn)裝置3套，工業(yè)氣體、可燃?xì)怏w充裝裝置多套。建立了先進(jìn)的混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體配制中心、氣體質(zhì)量檢測(cè)中心及氣瓶檢驗(yàn)站，并擁有多套高純氣體純化和充裝系統(tǒng)。設(shè)有獨(dú)立的危險(xiǎn)化學(xué)品運(yùn)輸車隊(duì)，?；奋囕v超過(guò)80臺(tái)，配送范圍覆蓋整個(gè)廣東省及周邊省份。
工廠已通過(guò)IS09001質(zhì)量體系認(rèn)證及0HSMS18000安全管理體系認(rèn)證。多次榮獲工商局“重信用守合同”優(yōu)秀單位稱號(hào)。