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磁控濺射鍍膜機 NSC-3500(M)實驗室研發(fā)用磁控濺射系統(tǒng)
  • 磁控濺射鍍膜機 NSC-3500(M)實驗室研發(fā)用磁控濺射系統(tǒng)

磁控濺射鍍膜機 NSC-3500(M)實驗室研發(fā)用磁控濺射系統(tǒng)

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最小起訂量 1臺
發(fā)貨地 上海
更新日期 2025-01-21

產品詳情

中文名稱:磁控濺射鍍膜機 NSC-3500(M)實驗室研發(fā)用磁控濺射系統(tǒng)產品類別: 沉積系統(tǒng) 磁控濺射系統(tǒng)
2025-01-21 磁控濺射鍍膜機 NSC-3500(M)實驗室研發(fā)用磁控濺射系統(tǒng) 1臺/RMB 沉積系統(tǒng) 磁控濺射系統(tǒng)


NSC-3500(M)實驗室研發(fā)用磁控濺射系統(tǒng)概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達8"旋轉平臺,支持到4個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,極限真空可達10-7 Torr,15分鐘內可以達到10-6 Torr的真空。通過調整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

NSC-3500帶有10”派熱克鐘罩腔體或者13"鋁質腔體,32”的磁控管,DC直流和RF射頻電源。 在選配方面,我們提供不銹鋼腔體,350 l/s渦輪分子泵,額外的磁控管和襯底加熱功能。


NSC-4000磁控濺射鍍膜儀.png


NSC-3500(M)實驗室研發(fā)用磁控濺射系統(tǒng)產品特點:

  • 不銹鋼,鋁質腔體或鐘罩式耐熱玻璃

  • 260500 l/s的渦輪分子泵,串接機械泵或干泵

  • 13.56MHz,300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源

  • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率

  • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片

  • 基于LabView軟件的PC計算機控制

  • 帶密碼保護功能的多級訪問控制

  • 完全的安全聯鎖功能


NSC-3500(M)實驗室研發(fā)用磁控濺射系統(tǒng)選配項:

  • 不銹鋼腔體

  • 熱蒸鍍能力

  • RF、DC濺射

  • RFDC偏壓(1000V

  • 樣品臺可加熱到700°C

  • 膜厚監(jiān)測儀

  • 基片的RF射頻等離子清洗

  • 預真空鎖以及自動晶圓片上/下載片

NSC-3500(M)實驗室研發(fā)用磁控濺射系統(tǒng)應用:

  • 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質涂覆

  • 光學以及ITO涂覆

  • 帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆

  • RF射頻等離子放電的反應濺射


關鍵字: 磁控濺射系統(tǒng);磁控濺射儀;磁控濺射鍍膜設備;磁控濺射設備;磁控濺射鍍膜機;磁控濺射真空鍍膜機;

公司簡介

那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務大中華區(qū)(包含中國大陸,香港,臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設有專門的服務辦公室,提供銷售和售后技術服務。 那諾-馬斯特中國的主要產品包括薄膜沉積設備、薄膜生長設備、干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國際領先的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。 自2001年Nano-Master開始設計開發(fā)薄膜應用方面的設備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應用領域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術和光伏等。我們的設備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內Nano-Master已經發(fā)展成為全球薄膜設備的供應商,已售出的幾百套設備分布于20多個不同國家的大學、研發(fā)中心和國家重點實驗室。 我們聘用技術熟練并具有良好教育背景的設計和制造工程師、應用工程師、服務
成立日期 2015-04-17 (10年) 注冊資本 100萬人民幣
員工人數 1-10人 年營業(yè)額 ¥ 1000萬-5000萬
主營行業(yè) 其他儀器耗材 經營模式 定制
  • 那諾-馬斯特中國有限公司
非會員
  • 公司成立:10年
  • 注冊資本:100萬人民幣
  • 企業(yè)類型:私人股份有限公司
  • 主營產品:薄膜沉積設備、薄膜生長設備、干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等
  • 公司地址:徐匯區(qū)虹梅南路126弄翡翠別墅23號
詢盤

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