三甲基氯硅烷在化學(xué)合成及藥物合成中被廣泛用于羥基、氨基、羧基等官能團(tuán)的保護(hù)基，還可在石油生產(chǎn)等工藝中用作有機硅高分子聚合物的封口劑，起到調(diào)節(jié)高聚物分子量的作用。在化學(xué)合成中，三甲基氯硅烷完成保護(hù)作用后被解離，得到副產(chǎn)物六甲基硅氧烷。因此，如何將六甲基硅氧烷轉(zhuǎn)化為三甲基氯硅烷，進(jìn)行重復(fù)使用，是降低生產(chǎn)成本的重要措施。

1.氯甲烷與硅粉在氯化亞銅催化下一步直接合成，生成甲基氯硅烷混合物，經(jīng)精餾提純可得三甲基氯硅烷及其他單體。實驗室制備可將四甲基硅烷與乙酰氯在三氯化鋁存在下反應(yīng)。

2.將粗品（或工業(yè)品）三甲基氯硅烷與三氯化鋁、三溴化鋁或氫氧化鐵于60℃下，一起攪拌10min，然后蒸餾，可得純凈產(chǎn)物。

3.氯甲烷與硅粉在氯化亞銅催化劑存在下，于300～550℃以上高溫一步合成，所得甲基氯硅烷混合物經(jīng)精餾提純得三甲基氯硅烷。

機合成中間體，制備硅酮樹脂、硅橡膠、高溫粘合劑等的原料，密封劑，干燥劑，脫水劑。生產(chǎn)多種有機硅化合物，是生產(chǎn)六甲基二硅氮（胺）烷和六甲基二硅氧烷的主要原料。本品可制備烷基化劑，也可作為醫(yī)藥化工生產(chǎn)中的基團(tuán)保護(hù)劑。

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